Описание дисциплины
| Имя | Значения | Действия | ||
| Имя элемента | элементная база вакуумных систем оборудования ЭП | |||
| Дополнительное заглавие | электронное машиностроение | |||
| Цикл | Базовая часть | |||
| Код | ||||
| Кафедра | ТТЭ - твердотельной электроники имени В. Г. Колесникова | |||
| Преподаватели |
|
|||
| Основная литература | Источников: 1 | |||
| Дополнительная литература | Источников: 0 | |||
| Обозначение |