Описание дисциплины
| Имя | Значения | Действия | ||
| Имя элемента | технология СБИС (бЭН)(2023) | |||
| Дополнительное заглавие | микроэлектроника и твердотельная электроника | |||
| Цикл | Базовая часть | |||
| Код | ||||
| Кафедра | Твердотельной электроники | |||
| Преподаватели |
|
|||
| Основная литература | Источников: 6 | |||
| Дополнительная литература | Источников: 14 | |||
| Обозначение |