Описание дисциплины
| Имя | Значения | Действия | ||
| Имя элемента | физико-химические основы технологии материалов и компонентов микроэлектронной техники (бНТ) | |||
| Дополнительное заглавие | нанотехнологии и микросистемная техника | |||
| Цикл | Базовая часть | |||
| Код | 8512 | |||
| Кафедра | ТТЭ - твердотельной электроники имени В. Г. Колесникова | |||
| Преподаватели |
|
|||
| Основная литература | Источников: 2 | |||
| Дополнительная литература | Источников: 3 | |||
| Обозначение | ВГТУ |