Описание дисциплины
| Имя | Значения | Действия | ||
| Имя элемента | технология изготовления и метрология тонкопленочных наноструктур (мМНН) | |||
| Дополнительное заглавие | метрология наноструктур и нанотехнологий | |||
| Цикл | Базовая часть | |||
| Код | 8701 | |||
| Кафедра | ФТТ - физики твердого тела | |||
| Преподаватели |
|
|||
| Основная литература | Источников: 3 | |||
| Дополнительная литература | Источников: 3 | |||
| Обозначение | ВГТУ |