Описание дисциплины
| Имя | Значения | Действия | ||
| Имя элемента | перспективные технологические процессы для производства БИС, микро- и наносистем (МЭм) | |||
| Дополнительное заглавие | Электроника и наноэлектроника | |||
| Цикл | Базовая часть | |||
| Код | 7379 | |||
| Кафедра | Твердотельной электроники | |||
| Преподаватели |
|
|||
| Основная литература | Источников: 4 | |||
| Дополнительная литература | Источников: 2 | |||
| Обозначение | ВГТУ |