Описание дисциплины
| Имя | Значения | Действия | ||
| Имя элемента | перспективные технологические процессы и оборудование для производства ИС и 3D изделий микроэлектроники | |||
| Дополнительное заглавие | физическая электроника | |||
| Цикл | Базовая часть | |||
| Код | 7380 | |||
| Кафедра | ТТЭ - твердотельной электроники имени В. Г. Колесникова | |||
| Преподаватели |
|
|||
| Основная литература | Источников: 5 | |||
| Дополнительная литература | Источников: 1 | |||
| Обозначение | ВГТУ |