Описание дисциплины
| Имя | Значения | Действия | ||
| Имя элемента | процессы микро- и нанотехнологии (бЭН) | |||
| Дополнительное заглавие | микроэлектроника и твердотельная электроника | |||
| Цикл | Базовая часть | |||
| Код | 1374 | |||
| Кафедра | ТТЭ - твердотельной электроники имени В. Г. Колесникова | |||
| Преподаватели |
|
|||
| Основная литература | Источников: 4 | |||
| Дополнительная литература | Источников: 9 | |||
| Обозначение | ВГТУ |