Описание дисциплины
| Имя | Значения | Действия | ||
| Имя элемента | контрольно-измерительное оборудование в технологическом процессе наноэлектроники и микросистемной техники | |||
| Дополнительное заглавие | Электронное машиностроение | |||
| Цикл | Базовая часть | |||
| Код | 7235 | |||
| Кафедра | ТТЭ - твердотельной электроники имени В. Г. Колесникова | |||
| Преподаватели |
|
|||
| Основная литература | Источников: 2 | |||
| Дополнительная литература | Источников: 4 | |||
| Обозначение | ВГТУ |