Описание дисциплины
| Имя | Значения | Действия | ||
| Имя элемента | основы лучевых и плазменных технологий (збЭН) | |||
| Дополнительное заглавие | микроэлектроника и твердотельная электроника-(фзо) | |||
| Цикл | Базовая часть | |||
| Код | 6532 | |||
| Кафедра | ТТЭ - твердотельной электроники имени В. Г. Колесникова | |||
| Преподаватели |
|
|||
| Основная литература | Источников: 7 | |||
| Дополнительная литература | Источников: 10 | |||
| Обозначение | ВГТУ |