Описание дисциплины
| Имя | Значения | Действия | ||
| Имя элемента | технология больших интегральных схем, микро- и наносистем (ЭНЭм) | |||
| Дополнительное заглавие | Электроника и наноэлектроника | |||
| Цикл | Базовая часть | |||
| Код | 7474 | |||
| Кафедра | Твердотельной электроники | |||
| Преподаватели |
|
|||
| Основная литература | Источников: 3 | |||
| Дополнительная литература | Источников: 3 | |||
| Обозначение | ВГТУ |