Описание дисциплины
| Имя | Значения | Действия | ||
| Имя элемента | технологии МЭМС | |||
| Дополнительное заглавие | инженерные нанотехнологии в приборостроении | |||
| Цикл | Базовая часть | |||
| Код | 8975 | |||
| Кафедра | ТТЭ - твердотельной электроники имени В. Г. Колесникова | |||
| Преподаватели |
|
|||
| Основная литература | Источников: 7 | |||
| Дополнительная литература | Источников: 8 | |||
| Обозначение | ВГТУ |