Описание дисциплины
| Имя | Значения | Действия | ||
| Имя элемента | перспективные технологические процессы и оборудование для производства полупроводниковых приборов (бЭН) | |||
| Дополнительное заглавие | микроэлектроника и твердотельная электроника | |||
| Цикл | Базовая часть | |||
| Код | 7587 | |||
| Кафедра | ТТЭ - твердотельной электроники имени В. Г. Колесникова | |||
| Преподаватели |
|
|||
| Основная литература | Источников: 3 | |||
| Дополнительная литература | Источников: 2 | |||
| Обозначение | ВГТУ |