Описание дисциплины
| Имя | Значения | Действия | ||
| Имя элемента | технологии БИС, микро- и наносистем (мЭН) | |||
| Дополнительное заглавие | приборы и устройства в микро- и наноэлектронике | |||
| Цикл | Базовая часть | |||
| Код | 8201 | |||
| Кафедра | ТТЭ - твердотельной электроники имени В. Г. Колесникова | |||
| Преподаватели |
|
|||
| Основная литература | Источников: 6 | |||
| Дополнительная литература | Источников: 3 | |||
| Обозначение | ВГТУ |